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本发明公开了一种新型研磨液供应系统,包括设备主体,所述设备主体内部设置有原液桶,所述设备主体内部位于原液桶一侧设置有储液桶,所述储液桶内部设置有搅拌机构,所述设备主体内部还设置有隔膜泵和磁力泵,所述设备主体外侧底部设置有支撑调节装置,所述隔膜泵与所述原液桶顶部通过连接管道连接,所述磁力泵与所述储液桶底部通过传输管道连接,所述磁力泵上还设置有研磨液出口管道,所述研磨液出口管道与传输管道相连。本发明的有益效果是,此新型研磨液供应系统,结构简单,实用性较强,制作的成本较低,且制作研磨液的效率较高,通过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112775844 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202110017234.7
(22)申请日 2021.01.07
(71)申请人 黑曼巴半导体(无锡)有限公司
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