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研磨装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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研磨装置.pdf

    本发明在一边使具有多个研磨液供给口的研磨液供给头在研磨垫上移动一边供给研磨液时，使研磨液的供给范围的均匀性提高。本发明的研磨装置(1)包含：用于支撑研磨垫(100)的研磨台；用于保持对象物的研磨头(30)；及用于向研磨垫100与对象物之间供给研磨液的研磨液供给装置(40)。研磨液供给装置(40)包含：具有多个研磨液供给口(414)的研磨液供给头(41)；构成位使研磨液供给头(41)沿着研磨垫(100)的研磨面移动的连杆机构(60)；及构成为驱动连杆机构(60)的驱动机构(90)。驱动机构90构成

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115734841 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202280003970.X (74)专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限

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