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一种沟槽终端结构及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种沟槽终端结构及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种沟槽终端结构及其制备方法，沟槽呈环状分布于有源区的外围，在沟槽的外围设有截止环，沟槽包括若干条间断沟槽和一条连续沟槽，所述连续沟槽位于间断沟槽与截止环之间，每条间断沟槽包括若干条等间距设置的间断子沟槽，且相邻间断沟槽的间断子沟槽交错分布。本发明使得终端位置的电势分布更均匀，并减小了终端宽度，提升了器件性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768506 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110023025.3 (22)申请日 2021.01.08 (71)申请人 滁州华瑞微电子科技有限公司

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