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通过活化蒸汽硅烷化获得原子力显微镜的官能化传感器针尖的方法和用该方法获得的针尖.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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通过活化蒸汽硅烷化获得原子力显微镜的官能化传感器针尖的方法和用该方法获得的针尖.pdf

    本发明涉及一种获得用于原子力显微镜的官能化传感器针尖的方法，其特征在于官能化通过活化蒸汽硅烷化工艺进行，包括：a)蒸发包含至少一个硅原子和至少一个官能团的有机金属化合物，所述至少一个官能团选自由胺基、羟基、羧基及硫醇基；b)通过加热，活化步骤a)中所述有机金属化合物的蒸汽；以及c)使步骤b)中形成的活化蒸汽撞击原子力显微镜的传感器针尖，以将所述有机金属化合物的膜沉积在所述传感器针尖上，连续地进行步骤b)和c)。本发明还涉及使用该方法获得的官能化传感器针尖。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805573 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980049873.2 拉斐尔 ·达扎 ·加西亚　

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