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- 2023-06-06 发布于四川
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本申请公开了一种缝阀及应用其的半导体加工设备；该缝阀包括：阀板；阀板支撑单元；驱动单元包括传动件，具有第一运行轨迹和第二运行轨迹；第一传动单元；第二传动单元；传动件能够驱动第一传动单元带动阀板支撑单元运动，以实现阀板沿第三运行轨迹往复运动；传动件能够驱动第二传动单元带动阀板支撑单元运动，以实现阀板沿第四运行轨迹往复运动；第三运行轨迹与第四运行轨迹垂直。本申请的缝阀不会对连通口以及连通口处的密封圈造成不均匀的挤压，避免损坏连通口和密封圈，阀板的密封效果极佳；两传动单元无需承载彼此的重量，每个传动单
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115750793 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211235116.4
(22)申请日 2022.10.10
(71)申请人 深圳市纳设智能装备
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