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倾斜斐索波数扫描干涉仪.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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倾斜斐索波数扫描干涉仪.pdf

    本发明提供的一种倾斜斐索波数扫描干涉仪，通过半导体激光器、准直调节镜、参考镜、远心镜头、光谱图像采集器和数据处理部件的设置，基于激光电流波数扫描测量原理实现了测量透镜三维轮廓信息，省去了现有干涉仪中使用的分光棱镜或者半透半反射镜，使结构更加简易，具有很好的稳定性；同时，本发明提供的倾斜斐索波数扫描干涉仪使被测镜和参考镜在同一侧，极大的提高了信噪比。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112762817 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202011539920.2 审查员 兰东升 (22)申请日 2020.12.23

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