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一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法.pdf

    本发明公开了一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法。其特点是将微米级的聚苯乙烯胶体球自组装形成的单层膜转移到光寻址电位传感器的硅衬底，以聚苯乙烯胶体单层膜为模板在衬底上沉积金属，进而通过二甲苯浸泡剥离胶体球模板。由于采用微米球光刻技术，在光寻址电位传感器半导体衬底的透光区域制备了周期性有序的蜂巢网状工作电极，有效降低了衬底中光生载流子的横向扩散，提高了LAPS的空间分辨率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112763557 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011542569.2 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人 西北工业大学 地址

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