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机器人系统、机器人的控制方法、半导体制造系统。在确保臂的伸长的同时使回转半径小型化。机器人具有:水平多关节型的第一臂(17),其具备被设置成能够绕回转轴线(AX0)旋转的第一基部连杆、第一中间连杆和保持工件的第一手部(21),第一臂使第一手部沿着以回转轴线为中心的第一径向(D1)移动;水平多关节型的第二臂(19),其具备被设置成能够与第一基部连杆独立地绕回转轴线旋转的第二基部连杆、第二中间连杆和保持工件的第二手部(23),第二臂使第二手部沿第二径向(D2)移动,第二径向与第一径向之间绕回转轴线具
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112775933 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011244865.4 H01L 21/687 (2006.01)
(22)申请日
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