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使用碱催化抑制剂的选择性沉积方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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使用碱催化抑制剂的选择性沉积方法.pdf

    提供了一种方法，其包含以下操作：同时施加有机硅氯化物抑制剂和路易斯碱至衬底的表面，所述有机硅氯化物抑制剂被配置成吸附于所述衬底的所述表面的介电区域上；执行多个循环的ALD处理，以在所述衬底的所述表面上沉积金属氧化物；其中，所述施加所述有机硅氯化物抑制剂和所述路易斯碱防止所述ALD处理在所述衬底的所述表面的所述介电区域上沉积所述金属氧化物。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805807 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980065759.9 大卫 ·查尔斯 ·史密斯　 (22)申请日 20

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