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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供计量目标、目标设计方法及计量测量方法，所述方法独立地或结合计量叠加估计来估计不对称像差的效应。目标包括具有相同粗略节距、相同1:1线与空间比且按相同精细节距分割成精细元件的一或多对分段周期性结构，其中所述分段周期性结构彼此不同之处在于其中一个分段周期性结构缺少其对应精细元件的至少一者及/或其中一个分段周期性结构包括依精细节距的倍数彼此分离的精细元件的两个群组。遗失元件及/或中心间隙使得能够从所述对应分段周期性结构的测量导出像差效应的估计。所述精细节距可经选定为对应于对应层中的装置精细节
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112789557 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 201880098352.1 (51)Int.Cl.
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