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分割装置和分割方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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分割装置和分割方法.pdf

    本发明提供一种能够容易且良好地分割基板的分割装置和分割方法。本发明的分割装置(1)，将第一面(101)形成有规定的刻划线(L1、L2)、第二面(102)被粘贴在膜片(110)的基板(100)沿着刻划线分割，具有：腔体(20)，其具有盖部(300)和主体部(200)，以隔着膜片(110)形成第一面(101)侧的第一室(21)和第二面(102)侧的第二室(22)的方式，用盖部(300)和主体部(200)保持基板(100)；压力调节部(400)，其分别单独地调节第一室(21)和第二室(22)的压力，将

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112793013 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011130648.2 B28D 7/04 (2006.01)

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