半导体器件以及制造半导体器件的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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半导体器件以及制造半导体器件的方法.pdf

一氮化物型的半导体器件,包括衬底、缓冲体、第一氮化物半导体层、第二氮化物半导体层、第一源极/漏极电极、第二源极/漏极电极及栅极电极。缓冲体设置在衬底上,并包括至少一层的氮化物半导体化合物,其位于缓冲体的最顶部。第一氮化物半导体层设置在缓冲体上。第二氮化物半导体层设置在第一氮化物半导体层上,且具有的带隙大于第一氮化物半导体层的带隙。第一源极/漏极电极、第二源极/漏极电极及栅极电极设置在第二氮化物半导体层上。第一源极/漏极电极向下延伸至低于第一氮化物半导体层的位置,以与缓冲体的最顶部形成第一界面,且

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112771677 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202080004016.3 H01L 29/06 (2006.01)

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