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- 2023-06-06 发布于四川
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公开一种用于测量与衬底上的结构有关的关注的特性的方法和相关联设备。所述方法包括在利用照射辐射照射结构之后，直接地由关注的特性对在照射辐射被所述照射辐射被所述结构散射时的至少相位的影响，来计算关注的特性的值。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112005157 A
(43)申请公布日 2020.11.27
(21)申请号 201980025279.X P ·沃纳尔 G ·格泽拉
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