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光栅基板表面光刻胶涂层在线扫描曝光预处理装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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光栅基板表面光刻胶涂层在线扫描曝光预处理装置及方法.pdf

    一种双光束干涉曝光系统中光栅基板表面光刻胶涂层在线扫描曝光预处理装置，包括：连续紫外激光光源，用于对光栅基板表面光刻胶涂层进行曝光；双光束干涉曝光系统；干涉场扫描测量系统，用于对干涉曝光场的强度分布进行二维扫描测量；扫描曝光预处理系统，将来自连续紫外激光光源的激光光束调制为具有一定空间强度分布和一定宽度的线激光束，并辐照在待处理光栅基板涂覆光刻胶的光刻胶面上。通过控制空间光调制器输出强度分布和一维位移台扫描速度实现光刻胶纳米涂层不同位置、不同曝光剂量的预处理。本发明解决了双光束干涉曝光技术制备衍

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112764327 B (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202110184852.0 (56)对比文件

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