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一种材料表面元素注入的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种材料表面元素注入的方法.pdf

    本发明公开了一种薄膜辅助超短脉冲激光表面元素注入方法，该方法首先将配置好溶液涂覆在靶材表面，溶液在材料表面形成均匀的薄膜层。通过超短脉冲激光烧蚀加工，在靶材表面上制备微纳结构。与此同时，薄膜层在超短脉冲激光的作用下将其所含有的元素注入到靶材表面。通过超短脉冲激光一次加工，实现微纳结构的制备及元素注入。经过超声清洗后，注入元素仍然稳定存在于微纳结构内部，而未处理表面则没有元素注入。通过改变激光功率、扫描速度和薄膜层厚度等，可控制激光处理区域元素含量。该方法具有设备简易、元素注入效率高、加工区域选择

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112756798 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110015654.1 (22)申请日 2021.01.07 (71)申请人 中南大学 地址 41

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