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一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空计.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空计.pdf

    本发明公开了一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空计，采用接触式结构能够使真空计的测量曲线，即真空度‑电容曲线具有分段线性的特点，解决了感压薄膜大挠度变形非线性的问题，提升了真空计的测量性能；同时，接触式结构可以防止感压薄膜在高压力作用下受到破坏，提高真空规的测量范围。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112763129 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011453071.9 (22)申请日 2020.12.11 (71)申请人 兰州空间技术物理研究所

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