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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明属于颗粒浓度检测技术领域，具体涉及一种颗粒浓度检测装置，包括壳体、悬臂梁、反光部、激光器、光电位移探测器、金属层、静电孔和出气孔，所述壳体内焊接有悬臂梁，所述悬臂梁悬空端上设置有金属层，所述悬臂梁悬空端上远离金属层的一侧设置有反光部，所述壳体上开设有静电孔，所述壳体靠近悬臂梁悬空端处开设有出气孔，所述壳体内设置有激光器和光电位移探测器。本发明通过利用静电方式将吸附气体中的颗粒，使悬臂梁发生微小形变，悬臂梁具有较高的机械灵敏度，再通过光学反射原理测量悬臂梁的形变量，因为光学测量精度高，因此该
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112763385 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011484393.X
(22)申请日 2020.12.16
(71)申请人 彭彦莉
地址 726
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