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本发明题为“具有压力阻尼的振梁加速度计”。本公开描述了用于阻尼加速度计的检验质量块运动同时实现欠阻尼谐振器的技术。在平面内微机电系统(MEMS)VBA的示例中，该检验质量块可包含一个或多个阻尼梳，该一个或多个阻尼梳包括附接到该检验质量块的一组或多组转子梳指。该转子梳指可与附接到固定几何形状的定子梳指交叉。当该MEMS管芯被放置到包含高于真空的压力的封装件中时，这些阻尼梳指可为该检验质量块提供空气阻尼。该阻尼梳的该几何形状具有减小的气隙以及该转子梳指和该定子梳指之间的大重叠区域。本公开的该VBA的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112782428 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011207143.1
(22)申请日 2020.11.02
(30)优先权数据
62/932,29
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