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一种掩模制造用新型真空系统及上下料方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种掩模制造用新型真空系统及上下料方法.pdf

    本发明属于掩模制造领域，提供了一种掩模制造用新型真空系统，包括工艺腔体，工艺腔体内设置有工件台和机械手臂，工艺腔体外侧在进出料口处设置有上下料腔体，上下料腔体通过进出料口与工艺腔体连通，进出料口设置有电控内封闭门，上下料腔体设置有与外界连通的送料口并设置有电控外封闭门；工艺腔体和上下料腔体均设置有真空调节装置。本发明同时提供了这种真空系统的上下料方法。本发明提供的掩模制造用新型真空系统及上下料方法，在工艺腔体前上下料腔体，在工艺进行过程中完成上下料真空环境的转换，减少交互对工艺的影响，整体上缩短

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112758669 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011530542.1 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人 无锡中微掩模电子有限公司

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