处理大面积基板的材料沉积设备、真空沉积系统和方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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处理大面积基板的材料沉积设备、真空沉积系统和方法.pdf

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描述了用于在真空腔室中的基板上沉积材料的材料沉积设备。所述材料沉积设备包括：掩模台，所述掩模台被配置为支撑具有掩模框架和掩模的掩模组件；基板传输轨道，所述基板传输轨道的至少一部分提供于真空腔室中，所述基板传输轨道被配置为支撑基板载体；保持装置，所述保持装置耦接至所述掩模台且被配置为用于将所述掩模组件沿基本上垂直的定向转移至所述掩模台上；和对准组件，所述对准组件具有两个或更多个对准致动器，所述对准组件耦接至所述掩模台且被配置为耦接至所述基板载体以使所述基板载体和所述掩模组件相对于彼此移动。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112771198 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 201880098048.7 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理