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一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法.pdf

    本发明公开了一种水冷热屏结构、单晶硅生长装置和单晶硅生长方法。该水冷热屏结构包括：水冷热屏本体以及设置于水冷热屏本体内部的气冷装置，其中，气冷装置，用于将惰性气体输送至单晶硅生长区域。该水冷热屏结构能够有效地提升单晶硅生长速度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112760709 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202011561712.2 C30B 15/00 (2006.01)

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