原创力文档- 10
- 0
- 约8.13千字
- 约 9页
- 2023-06-06 发布于四川
- 举报
本发明提出一种半绝缘碳化硅单晶晶圆的制备方法，属于单晶硅生产加工技术领域；具体是采用高能粒子辐照碳化硅晶片，在碳化硅晶片引入点缺陷，以补偿碳化硅晶片浅能级缺陷；所述碳化硅晶片中的Al杂质浓度＜1E15cm‑3，B、N两种浅杂质浓度分别＜5E16cm‑3，采用高能粒子辐照剂量为0.3‑25MeV；辐照时间为0.1‑6h；本发明克服了在不使用深能级金属掺杂剂情况下实现半绝缘SiC晶圆片内和片间电阻率分布均匀的实际困难，不仅可以有效提升射频器件性能，同时可以提升产品一致性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112760719 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110043756.4
(22)申请日 2021.01.13
(71)申请人 山西烁科晶体有限公司
您可能关注的文档
- 基于CAN通讯的软件示波器系统及其控制方法.pdf
- 一种基于生成器的异常检测方法.pdf
- 一种基于对偶距离损失的生成对抗网络训练方法.pdf
- 广告投放方法、装置、设备及存储介质.pdf
- 一种基于深度CNN的飞机总装物料配送优先级分配方法.pdf
- 一种光学镜片用抛光自适应抛光压力自清洁的智能化装置.pdf
- 一种可实现全方位行走的智能防摔倒拐杖.pdf
- 交通信号灯检测方法、装置和计算机设备.pdf
- 一种基于层次分析法的电网地质沉降风险评估方法.pdf
- 一种输电线路的巡维路线的划分方法以及装置.pdf
- 2026年辽宁理工职业大学单招职业适应性考试题库及答案详解（最新）.docx
- 2026年辽宁省朝阳市单招职业适应性考试题库及答案详解（各地真题）.docx
- 2026年辽宁省铁岭市单招职业适应性考试题库附答案详解（黄金题型）.docx
- 2026年鄂尔多斯生态环境职业学院单招职业技能考试题库及一套答案详解.docx
- 2026年辽宁省营口市单招职业倾向性考试题库及答案详解（夺冠系列）.docx
- 2026年重庆安全技术职业学院单招职业技能考试题库附答案详解（典型题）.docx
- 2026年辽宁省鞍山市单招职业倾向性考试题库及答案详解（新）.docx
- 2026年运城幼儿师范高等专科学校单招职业适应性考试题库及答案详解（全国通用）.docx
- 2026年鄂州职业大学单招职业技能考试题库参考答案详解.docx
- 2026年郑州黄河护理职业学院单招职业倾向性考试题库及答案详解（有一套）.docx
文档评论（0）