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激光退火装置及激光退火方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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激光退火装置及激光退火方法.pdf

    一种在表面形成有被处理膜的被处理基板与沿着设定于所述被处理膜的处理预定区域照射激光的线束来进行退火处理的激光照射部能够在扫描方向上相对地移动的激光退火装置，在所述激光退火装置中，所述处理预定区域设定为沿着所述扫描方向延伸的带状的区域，所述照射面区域设定为以该照射面区域的长度方向相对于所述扫描方向倾斜的状态配置在所述处理预定区域内。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805809 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980065438.9 (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理

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