对准元件的致动器装置、半导体光刻的投射曝光设备及对准元件的方法.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.8万字
  • 约 23页
  • 2023-06-06 发布于四川
  • 举报

对准元件的致动器装置、半导体光刻的投射曝光设备及对准元件的方法.pdf

本发明涉及用于对准元件(2)的致动器装置(1),其包括能够被紧固到支撑结构(5)的用于第一设定范围的至少一个第一致动器单元(7)以及能够被紧固到元件(2)的用于第二设定范围的第二致动器单元(8)。第一致动器单元(7)具有调整元件(13)和固定元件(14),固定元件能够被紧固到支撑结构(5),其中,固定元件(14)被设计为在元件(2)的操作状态下以力配合方式固定输出元件(9)。固定元件(14)附加地被设计为在元件(2)的调整状态下释放力配合连接,以便通过调整元件(13)调整输出元件(9)。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805626 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980065744.2 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档