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蒸镀方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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蒸镀方法.pdf

    本发明提供一种使用掩模将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸镀方法，将设置了掩模且包含彼此相对的第一边和第二边的掩模框，以在重力方向上所述第一边位于比所述第二边高的位置方式，与所述基板相对地配置，在配置了所述掩模框之后，校正所述掩模框上产生的重力方向上的挠曲。所述校正可以包括对所述掩模框上产生所述挠曲的位置施加力。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805404 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980066751.4 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限

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