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一种CVD金刚石高真空光学窗装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种CVD金刚石高真空光学窗装置.pdf

    本发明公开了一种CVD金刚石高真空光学窗装置，包括底座、连接件、压紧件、压紧组件、透光组件、金刚石光窗和真空设备固定孔，所述连接件设于底座上，所述压紧件设于连接件远离底座的一端，所述压紧组件一端设于压紧件上，所述压紧组件另一端设于底座上，所述透光组件一端设于压紧件上，所述透光组件另一端设于底座上，所述金刚石光窗设于透光组件内，所述真空设备固定孔贯穿设于底座上，所述金刚石光窗为含有铅元素和磷元素的金刚石光窗，所述金刚石光窗通过CVD化学气相沉积法制得。本发明属于真空设备技术领域，具体是指一种莫氏硬

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112782821 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 201911014788.0 (22)申请日 2019.10.23 (71)申请人 湖州中芯半导体科技有限公司

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