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一种防指纹镀膜方法、防指纹镀膜结构及显示装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种防指纹镀膜方法、防指纹镀膜结构及显示装置.pdf

    本发明涉及镀膜技术领域，公开了一种防指纹镀膜方法、防指纹镀膜结构及显示装置。该防指纹镀膜方法包括步骤：将基板放置在真空镀膜室，对真空镀膜室进行抽低真空；对基板进行等离子清洗，对真空镀膜室进行抽高真空；用等离子方式在基板上制备无机硅膜层，对真空镀膜室进行抽高真空；蒸发防指纹药丸，在无机硅膜层上形成防指纹层。通过等离子方式加入气态硅油，形成二氧化硅，后蒸发防指纹药丸，硅的成膜速率快，结构简单，产品生产面积大，生产效率高。本发明中，通过等离子方式加入气态硅油，通过化学沉积形成无机硅膜层，后蒸发防指纹药

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112746264 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011603948.8 C23C 28/00 (2006.01)

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