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环境控制设备及芯片测试系统.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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环境控制设备及芯片测试系统.pdf

    本发明公开一种环境控制设备及芯片测试系统。环境控制设备的设备本体具有多个容置室，各容置室设置有一个温度调节装置。各温度调节装置包含温度调节器、接触结构、框体及弹性环形密封件。当承载有多个芯片的芯片测试装置设置于容置室中，且接触结构与多个芯片的一侧接触时，弹性环形密封件将对应抵压于芯片测试装置，而芯片测试装置与接触结构之间将形成有封闭空间。与环境控制设备连接的抽气装置能将封闭空间中的空气向外抽出，且温度调节器能对应调整接触结构的温度，以使各个芯片在特定的温度环境中，被芯片测试装置进行预定测试程序。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112798922 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 20191

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