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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明涉及湿法刻蚀机装置技术领域，公开了一种电源芯片制造离子注入湿法刻蚀机及其使用方法，当多个位置检测仪19检测到硅晶片5时，通过相对应的位置传导线20将信号传入中央控制器17内，中央控制器17通过第一控制线40启动第一电磁阀38，进液管45将积液箱42内的抗蚀剂排进循环泵44内，通过注液管46排进加热箱35内，进而通过出液管37流到固定盘4内与硅晶片进行反应，通过加热控制导线39对加热箱35进行加热，从而能够增强其内部抗蚀剂的活性，通过多个温度传感器22的设置，对抗蚀剂温度进行感应，通过温度传
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768398 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011640663.1
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 六安擎动智能制造有限公司
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