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用于侧向硬模凹槽减小的混合碳硬模.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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用于侧向硬模凹槽减小的混合碳硬模.pdf

    本公开内容的实施方式涉及改善的硬模材料和用于基板的图案化和蚀刻的方法。多个硬模可与图案化和蚀刻工艺共同使用以实现先进的装置架构。在一个实施方式中，第一硬模和第二硬模设置于基板上，所述基板具有设置于所述基板上的各种材料层。在第一蚀刻工艺期间可使用第二硬模以图案化第一硬模。可在第一硬模和第二硬模上沉积第三硬模，并且可使用第二蚀刻工艺以在材料层中形成通道。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108475640 A (43)申请公布日 2018.08.31 (21)申请号 20178

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