原创力文档- 3
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- 2023-06-07 发布于四川
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因在从钴互连件上去除表面氧化物和在钴互连件上沉积含氮膜期间发生的氮化作用而造成的钴互连件的电阻增大通过氢热退火或等离子体处理解决。穿过薄覆盖层去除氮化物，薄覆盖层可以是介电阻挡层或蚀刻终止层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108886017 A
(43)申请公布日
2018.11.23
(21)申请号 20178
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