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获得聚焦离子束的能谱技术领域.pdfVIP

获得聚焦离子束的能谱技术领域.pdf

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    本发明涉及获得聚焦离子束的能谱技术领域。本发明提供了一种当使用布拉格峰室测量积分深度剂量IDD时获得聚焦离子束的能谱的方法。该方法包括下述步骤：模拟一组额定的单能聚焦离子束的剂量；确定布拉格峰室的横向延伸以评估；在布拉格峰室的横向延伸上通过横向积分所模拟的一组额定的单能聚焦离子束的剂量，计算出一组理论分量IDD曲线CIDD；存储所计算的CIDD；使用布拉格峰室，获得具有额定能量的聚焦离子束的测量IDD；并且对所测量的IDD执行CIDD的线性组合的拟合，以确定用于具有额定射束能量的聚焦离子束的能谱

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112823820 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 202011283856.6 (51)Int.Cl.

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