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真空干燥装置.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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真空干燥装置.pdf

    本申请提供一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括箱体、加热机构、设置于加热机构远离箱体底部一侧的掩膜板以及抽气机构，显示基板包括阵列排布的多个用于填充墨水材料的子像素单元，掩膜板上设有多个分别与显示基板上的子像素单元一一对应的子像素开口，通过掩膜板上的子像素开口将抽气机构的吸力均匀分散至显示基板上的各个子像素单元，保证各子像素单元内墨水材料中的溶剂的挥发方向和挥发速度相同，使得各子像素单元内墨水材料干燥后形成的膜层的表面平整度保持一致。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838180 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110017890.7 (22)申请日 2021.01.07 (71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有

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