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一种等离子蚀刻装置，包括工作箱以及夹持杆，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置密封门，所述工作空腔侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块，所述定位块上下两侧分别设置定位柱，所述夹持杆一端分别与定位柱转动连接，所述工作空腔右侧侧壁设置液压杆，所述液压杆输出端设置定位板，所述定位板两端的上下两侧分别设置固定柱，所述固定柱分别转动连接第一传递杆，所述第一传递杆与夹持杆靠近定位柱一端分别铰接第二传递杆，通过夹持杆、第一传递杆、第二传递杆以及定位板的设置，便于对蚀刻板进行夹持固定。通过横杆、驱动电机以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112808661 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011517782.8
(22)申请日 2020.12.21
(71)申请人 钟兴进
地址 中国台
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