可变网格低质量MEMS反射镜.pdfVIP

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本公开涉及可变网格低质量MEMS反射镜。提供了一种组件，诸如MEMS反射镜或其它通常的盘状组件，该组件具有跨其背侧表面的可变网格图案。可变网格包括肋，该肋在组件的中心部分或旋转轴线附近具有第一厚度，并且在远离中心或旋转轴线的部分处具有第二较窄的厚度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112817146 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110049540.9 (22)申请日 2021.01.14 (30)优先权数据 62/976,81

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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