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本发明提供了一种多功能酸洗台装置,包括设备本体和控制装置,其中:设备本体中部设置有操作平台,操作平台上设置有酸槽和水洗槽;操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂;操作平台的周向侧壁设置有抽气系统;控制装置控制机械臂的运动,控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。本发明解决了手动酸洗台酸槽种类少,针对晶圆尺寸单一,制程流程不连贯,使用过程繁琐等诸多问题,大大提升了使用设备时的安全性和便利性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112802780 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202110171930.3
(22)申请日 2021.02.08
(71)申请人 淄博绿能芯创电子科技有限公司
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