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本发明公开了一种衬底加工方法及其加工装置，通过测量装置确定衬底的厚度和不对称面型，利用激光器对所述衬底进行激光扫描，激光器根据测量出的衬底参数自动设置匹配的激光参数，在所述衬底中形成改质点以使所述衬底收敛为对称面型，均匀衬底的应力，提高衬底的应力收敛性，使衬底对称面型的比例提高至100%，对称面型的衬底有利于提高后续外延层波长的收敛性，进而使得器件良率大大提升。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112837998 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110159084.3
(22)申请日 2021.02.05
(71)申请人 福建晶安光电有限公司
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