一种环形触点射频微机械开关及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种环形触点射频微机械开关及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种环形触点射频微机械开关及其制备方法，开关包括衬底结构、用于传输射频/微波信号的共面波导结构、悬臂梁结构及用于直流驱动的驱动结构。共面波导结构包括位于中间的输入信号线、输出信号线和位于两侧的地线。悬臂梁右顶端下方有环形触点，悬臂梁下面的衬底结构表面有驱动电极。制备方法包括：在衬底上溅射金属并刻蚀形成共面波导结构和驱动结构；在共面波导结构和驱动结构上涂覆一层牺牲层；各向异性刻蚀牺牲层形成环形凹槽；各向同性刻蚀，拓展凹槽形成圆环形触点；在牺牲层上溅射一层金属并刻蚀出悬臂梁结构，然后电镀

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112839429 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110052935.4 (22)申请日 2021.01.15 (71)申请人中国

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