一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房.pdf

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本发明属于厂房技术领域，尤其为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，包括地面，所述地面的顶部固定连接有厂房本体，所述厂房本体的内部固定连接有挡板，所述挡板的顶部固定连接有净化箱，所述挡板的顶部固定连接有吸风机，所述吸风机的输入端与厂房本体连通，所述吸风机的输出端与净化箱连通，所述净化箱的内壁固定连接有夹板。本发明通过吸风机的设置，可将空气吸入净化箱内，利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用，对空气进行净化，增加厂房质量，配合防尘网的吸附效果，可将灰尘进行去除，进一步加强净化效果，通过螺栓，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112797560 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011589200.7 A62C 31/03 (2006.01)

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