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- 2023-06-07 发布于四川
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本发明公开一种MEMS传感器和应用该MEMS传感器的电子设备。其中，MEMS传感器包括外部封装结构、MEMS芯片、防水透气膜以及以及发热模块，外部封装结构的内部形成有收纳腔，外部封装结构开设有与收纳腔连通的透气孔；MEMS芯片设于收纳腔内，并与透气孔连通设置；防水透气膜设于外部封装结构的外表面，并罩盖透气孔；发热模块设于透气孔内，且仅占据部分透气孔的透气通道。本发明的技术方案可使MEMS传感器在涉水后能够快速恢复使用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112830447 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110072854.0
(22)申请日 2021.01.19
(71)申请人 潍坊歌尔微电子有限公司
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