一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备.pdf

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本发明公开了一种去除晶圆背面边缘薄膜的设备，其结构包括除膜机构、调节把手、控制器、闭合器，调节把手贯穿于除膜机构侧面内部，闭合器安装于除膜机构上端，控制器嵌固在除膜机构左侧上端，杠杆板通过活动槽下端的支撑环进行杠杆活动，伸缩杆有规律的升降，使得固定盘上的晶圆进行上下倾斜活动，增加去除薄膜的倾斜角度，避免了单一的倾斜角度容易造成边缘清洗刮除效果较弱的问题，防止晶圆边缘清洗刮除不干净，橡胶板左侧的摩擦块对薄膜进行去除，摩擦块使晶圆倾斜时进行竖向作用力，通过橡胶板的弧形结构避免刮除时中间产生内陷，且橡

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838046 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110094290.0 (22)申请日 2021.01.23 (71)申请人黄嘉华地址 362