气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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本公开提供一种气体供给系统及其控制方法、等离子体处理装置，能够响应性良好地分配气体。该气体供给系统被连接在具有第一气体入口和第二气体入口的腔室与气体源之间，并且具有：流量调整单元，其具备多个流量调整线路，各流量调整线路具有成对的第一线路和第二线路，第一线路将气体源与第一气体入口连接，并且所述第一线路具有第一阀和第一节流孔，第二线路将气体源和第二气体入口连接，并且所述第二线路具有第二阀和第二节流孔，各流量调整线路中第一节流孔和第二节流孔具有相同的尺寸；以及控制部，其构成为控制各流量调整线路中的第一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112825296 A (43)申请公布日 2021.05.21 (21)申请号 202011267533.8 (22)申请日 2020.11.13 (30)优先权数据 2019-2105

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