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本发明提供贴合基板的分断方法以及应力基板的分断方法。提供将在基底基板粘贴热收缩率不同的树脂的基板适合且确实地分断的方法。具备:粘贴工序,通过从一方主面侧按压贴合基板并使基底基板的另一方主面与水平张紧设置的保持胶带接触,来使贴合基板变形成平坦的形状并进行粘贴;划线工序,通过沿着粘贴的贴合基板的分断预定位置使划线轮在一方主面上压接滚动,来形成沿着分断预定位置的划线,使沿着分断预定位置的垂直裂纹伸展;和断裂工序,通过从另一方主面侧将断裂杆以给定的压入量压入,来将基底基板分断,在划线工序中,设定对基底基
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112809947 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011087870.9
(22)申请日 2020.10.12
(30)优先权数据
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