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用激光加工金刚石材料制备的元器件及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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用激光加工金刚石材料制备的元器件及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种用激光加工金刚石材料制备元器件的方法，采用如下装置：激光器，用于控制激光器输出的光束快门，用于放置金刚石的工作台；在激光器激光头和工作台间设聚焦透镜；使激光器发射的激光经聚焦透镜照射在金刚石上；通过控制激光光斑与工作台的相对移动，使激光聚焦在金刚石表面或内部；通过调节激光器输出功率、激光输出的脉冲重复频率及激光斑相对工作台的三维移动速度，使激光辐射区域内金刚石材料转化为石墨相以及无定形碳相，及改变激光辐射区域内材料电导率及电磁波透过率。本发明还公开了采用上述的方法制备而成的元器件

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112828449 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110014240.7 (22)申请日 2021.01.06 (71)申请人 天津

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