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2023-06-07 发布于四川
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基板处理装置以及基板处理方法.pdf

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本发明提供一种较佳地进行基板的蚀刻处理的技术。基板保持台(20)将基板(W)保持于既定位置。蚀刻液供给部(37)及喷嘴(30)将蚀刻液供给至既定位置的基板(W)。旋转马达(22)使基板保持台(20)绕既定的旋转轴线(Ax1)进行旋转。热像仪(70)取得腔室(10)内的处理空间(TS1)的基板W配置于既定位置的情况下所占有的基板区域的周围的周边区域(PA1)的热像(温度分布)。特征值运算部(902)从热像算出特征值，特征值与使用了蚀刻液的蚀刻处理所致的蚀刻量相关。蚀刻判定部(9031)基于所算出的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840439 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980067612.3 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

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