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一种双层式柔性压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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一种双层式柔性压力传感器及其制备方法.pdf

    本发明涉及一种双层式柔性压力传感器及其制备方法，该传感器依次由下柔性基底、下叉指电极层、敏感结构层、上叉指电极层、上柔性基底组成；其中，敏感结构层的上表面设置有带导电层的第一微纳结构，其下表面设置有带导电层的第二微纳结构，第一微纳结构与第二微纳结构在高度上存在显著差异，以此利用高度较小的微纳结构实现高灵敏度测量，利用高度较大的微纳结构实现宽量程测量。本发明中不同高度的微纳结构位于不同表面，避免了微纳嵌套结构加工困难、工艺稳定性和重复性差的问题。本发明的压力传感器具有高灵敏度、宽量程、制备工艺简单

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112834087 B (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202110011550.3 (56)对比文件 (22)申请日 2021.01.06

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