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一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质.pdf

    本发明实施例公开了一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质。其中，该方法包括：根据芯片中的待测试链路的仿真模型，确定待测试链路的标准电阻；根据电迁移仿真测试过程中的多组仿真测试数据确定待测试链路的失效时间计算公式；确定与待测试链路对应的多组电迁移测试条件；控制电迁移测试系统对与待测试链路对应的电迁移测试样品进行电迁移测试，得到与各组电迁移测试条件对应的测试样品失效时间；根据各组电迁移测试条件中的预期失效时间与所对应的测试样品失效时间的比对结果，确定待测试链路的电迁移测试结果。本发明实施例可以对芯

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112834911 B (45)授权公告日 2022.05.03 (21)申请号 202110012866.4 (56)对比文件 (22)申请日 2021.01.06

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