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本发明公开了一种蚀刻和沉积的先进控制方法和装置，方法包括以下步骤：制备可独立控制气流分布的气流分配板；在所述气流分配板上阵列排布多个独立的微型气流喷嘴，在每个微型气流喷嘴内设置一个独立气道以及控制该气道通断/流量流速的电控开/关，还包括根据制程需要，程序控制各个单个的喷嘴的开/关。本发明通过可编程气流分配，来保证整个区域气流量/流速的均一性，具体实现了可编程气流图案和气流流速的局部区域的控制，相对于现有的固定气孔位置的固定气流图案的气流分布，大幅提高了原子层蚀刻和沉积的制程反应器技术。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112825295 A
(43)申请公布日
2021.05.21
(21)申请号 20191
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