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本发明公开了一种单晶硅片制绒添加剂及其应用,该制绒添加剂包括以下原料:非离子表面活性剂、酰胺类化合物、全氟类离子表面活性剂、糖类化合物、没食子酸、乙二醇丁醚和苯甲酸盐;该制绒添加剂能够很好地制备出尺寸均匀,大小范围在2μm~5μm之间的金字塔;同时,本发明通过利用表面活性剂之间的协同作用进行复配,摒除传统生产工艺上对异丙醇(IPA)的依赖,制备出无醇的制绒添加剂,大大地降低了工艺的生产成本和有毒异丙醇蒸汽挥发对人体的危害。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112813501 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011596606.8
(22)申请日 2020.12.29
(71)申请人 广东
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