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2023-06-07 发布于四川
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本发明提供能够抑制载置被检查体的载置台因载荷而产生的移位的载置台和检查装置。提供如下载置台：该载置台载置具有电子器件的被检查体，以对该电子器件施加载荷的方式按压检查装置的探针卡的接触端子，其中，该载置台包括：第1冷却板，其形成有第1制冷剂流路；加热源，其搭载于所述第1冷却板，该加热源具有多个发光元件，用于加热所述被检查体；透过构件，其设于所述加热源之上，使所述加热源所输出的光透过；第2冷却板，其设于所述透过构件之上，保持所述被检查体，并形成有第2制冷剂流路；以及透明树脂层，其以覆盖所述加热源的方

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838041 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011292452.3 (22)申请日 2020.11.18 (30)优先权数据 2019-2126

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